Suppression of nitridation-induced interface traps and hole mobility degradation by nitrogen plasma nitridation

• المؤلفون الرئيسيون: Ang, C.H., Tan, S.S., Lek, C.M., Lin, W., Zheng, Z.J., Chen, T., Cho, B.J.
• مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/83119
• المؤسسة: National University of Singapore

10.1149/1.1459682