Deposition of polymeric nitrogenated amorphous carbon films (a-C:H:N) using electron cyclotron resonance CVD

• المؤلفون الرئيسيون: Yoon, S.F., Rusli, Ahn, J., Zhang, Q., Yang, C.Y., Yang, H., Watt, F.
• مؤلفون آخرون: PHYSICS
• التنسيق: مقال
• منشور في: 2014
• الوصول للمادة أونلاين: http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/96172

10.1016/S0040-6090(98)01332-7