Investigation of molybdenum-carbon films (Mo-C:H) deposited using an electron cyclotron resonance chemical vapor deposition system
Journal of Applied Physics
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , , , , , , |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| التنسيق: | مقال |
| منشور في: |
2014
|
| الوصول للمادة أونلاين: | http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/96979 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|