Numerical prediction of the etched profile in pyrolytic laser etching of silicon and gallium arsenide

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Wee, T.-S., Lu, Y.-F., Chim, W.-K.
مؤلفون آخرون:	ELECTRICAL ENGINEERING
التنسيق:	مقال
منشور في:	2014
الموضوعات:	Carbon tetrachloride Diffused reflection Gallium arsenide Heat conduction analysis Laser etched profile Laser induced temperature profile Numerical laser etching model Pyrolytic laser etching Silicon
الوصول للمادة أونلاين:	http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/80845
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة

Numerical prediction of etched profile in pyrolytic laser etching
بواسطة: Wee, T.S., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of porous silicon channel waveguides with multilayer Bragg cladding
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Experimental and numerical investigation of the surface reliefs formed on a moving silicon substrate by pulses of a Gaussian laser
بواسطة: Wee, T.-S., وآخرون
منشور في: (2014)

CHARACTERISATION AND DETERMINATION OF THE ETCHING PROFILE OF VIA/TRENCH OF SI-BASED PHOTONIC CRYSTAL
بواسطة: ONG KNG YIH
منشور في: (2019)

Low-power, low-pressure reactive-ion etching process for silicon etching with vertical and smooth walls for mechanobiology application
بواسطة: Ashraf, M, وآخرون
منشور في: (2020)

Fabrication of concave micro lens array using laser patterning and isotropic etching
بواسطة: Lim, C.S., وآخرون
منشور في: (2014)

TMAH etching of silicon and the interaction of etching parameters
بواسطة: Thong, J.T.L., وآخرون
منشور في: (2014)

LASER CLEANING OF PLASMA-ETCH-INDUCED POLYMERS FROM VIA HOLES AND OTHER SUBMICRON STRUCTURES ON SILICON WAFERS
بواسطة: LEE YUAN PING
منشور في: (2020)

Rear-side contact opening by laser ablation for industrial screen-printed aluminium local back surface field silicon wafer solar cells
بواسطة: Du, Z., وآخرون
منشور في: (2014)

Design of perovskite thermally co-evaporated highly efficient mini-modules with high geometrical fill factors
بواسطة: Li, Jia, وآخرون
منشور في: (2021)

18.7% Efficient inline-diffused screen-printed silicon wafer solar cells with deep homogeneous emitter etch-back
بواسطة: Kanti Basu, P., وآخرون
منشور في: (2016)

19% efficient inline-diffused large-area screen-printed Al-LBSF silicon wafer solar cells
بواسطة: Basu, P.K., وآخرون
منشور في: (2014)

Dependence of substrate orientation and etching conditions on the formation of Si nanowires
بواسطة: Tan, L.T., وآخرون
منشور في: (2014)

Etching control of benzocyclobutene in CF4 / O2 and SF6 / O2 plasmas with thick photoresist and titanium masks
بواسطة: Liao, E.B., وآخرون
منشور في: (2014)

Beam Profiling of Quantum Dot VCSEL for 10Gb/s Data Transmission
بواسطة: CHU, Y., وآخرون
منشور في: (2006)

Microlens Array Fabrication Technique and its Application in Surface Nanopatterning
بواسطة: LIM CHIN SEONG
منشور في: (2010)

Characterization of deep wet etching of glass
بواسطة: Iliescu, C., وآخرون
منشور في: (2014)

Controlled Stepwise Wet Etching of Polycrystalline Mo Nanowires
بواسطة: Khakimjon Saidov, وآخرون
منشور في: (2024)

Formation of pyramids at surface of TMAH etched silicon
بواسطة: Choi, W.K., وآخرون
منشور في: (2014)

Cavitation bubble dynamics during laser wet etching of transparent sapphire substrates by 1064 nm laser irradiation
بواسطة: Xie, X.Z., وآخرون
منشور في: (2014)

Metal-Assisted chemically Etched silicon Nanowire Systems for Biochemical and Energy storage Applications
بواسطة: ZHENG HAN
منشور في: (2015)

Optimization of an amorphous silicon mask PECVD process for deep wet etching of Pyrex glass
بواسطة: Iliescu, C., وآخرون
منشور في: (2014)

Mechanism and Catalyst Stability of Metal-Assisted Chemical Etching of Silicon
بواسطة: PRAYUDI LIANTO
منشور في: (2013)

Characterisation of pyramid formation arising from the TMAH etching of silicon
بواسطة: Choi, W.K., وآخرون
منشور في: (2014)

Transient Clustering of Reaction Intermediates during Wet Etching of Silicon Nanostructures
بواسطة: ZAINUL AABDIN, وآخرون
منشور في: (2020)

FABRICATION OF ISOLATED SILICON ISLANDS BY TMAH ETCHING
بواسطة: ANU AUSTIN
منشور في: (2020)

Wet etching of glass
بواسطة: Iliescu, C., وآخرون
منشور في: (2014)

Formation Pathways of Porous Alloy Nanoparticles through Selective Chemical and Electrochemical Etching
بواسطة: JIANG YINGYING, وآخرون
منشور في: (2021)

Monolithic Integration of Collimating Fresnel Lens for Beam Quality Enhancement in Tapered High Power Laser Diode
بواسطة: Lau, F. K., وآخرون
منشور في: (2006)

Sub-micron surface patterning by laser irradiation through microlens arrays
بواسطة: Lim, C.S., وآخرون
منشور في: (2014)

Design of reactive ion etching process based on ab-initio calculation - The first step-
بواسطة: Matsumoto, Shigeno, وآخرون
منشور في: (2007)

Fabrication of low loss silicon waveguides by ion irradiation and electrochemical etching
بواسطة: XIONG BOQIAN
منشور في: (2014)

METAL ASSISTED CHEMICAL ETCHING OF SEMICONDUCTORS FOR ELECTRONICS APPLICATION
بواسطة: KONG LINGYU
منشور في: (2017)

NANOTIPS FOR DEVICE CHARACTERISATION IN SUB-30NM TECHNOLOGY
بواسطة: ZHONG WEIXIAN
منشور في: (2019)

Selective Wet Etching of Silicon Germanium in Composite Vertical Nanowires
بواسطة: ZHASLAN BARAISSOV, وآخرون
منشور في: (2020)

Hierarchical nano/microstructures on silicon surface with ultra low reflectance for photovoltaic applications
بواسطة: Tan, L.T., وآخرون
منشور في: (2014)

Novel hybrid organic-inorganic spin-on resist for electron- or photon-based nanolithography with outstanding resistance to dry etching
بواسطة: Zanchetta, E., وآخرون
منشور في: (2016)

Reactive ion etching of transition-metal alloys
بواسطة: Akinaga, Hiro, وآخرون
منشور في: (2006)

PULSED LASER PROCESSING FOR HIGH EFFICIENCY SILICON WAFER SOLAR CELLS
بواسطة: DU ZHEREN
منشور في: (2014)

Fabrication of embedded media by etching of self-assembled mask
بواسطة: Verma, L.K., وآخرون
منشور في: (2014)