Reactive sputtering of CoZrTaOx thin films
As a novel metal oxide material with promising electrical properties, CoZrTaOx (OCZT) requires precise control of conditons in the reactive sputtering process to ensure that deposited thin films demonstrate stable and favorable qualities. As the properties of OCZT thin films to process conditions is...
محفوظ في:
| المؤلف الرئيسي: | |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| التنسيق: | Final Year Project |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
Nanyang Technological University
2022
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://hdl.handle.net/10356/159239 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
| المؤسسة: | Nanyang Technological University |
| اللغة: | English |