Scanning grating based in-plane movement sensing
10.1088/0960-1317/20/8/085007
محفوظ في:
المؤلفون الرئيسيون: | Yu, H., Zhou, G., Kumar Sinha, S., Chau, F.S. |
---|---|
مؤلفون آخرون: | MECHANICAL ENGINEERING |
التنسيق: | مقال |
منشور في: |
2014
|
الوصول للمادة أونلاين: | http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/51520 |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
المؤسسة: | National University of Singapore |
مواد مشابهة
-
Optical scanning with MEMS in-plane vibratory gratings and its applications
بواسطة: Zhou, G., وآخرون
منشور في: (2014) -
Grating-assisted optical microprobing of in-plane and out-of-plane displacements of microelectromechanical devices
بواسطة: Zhou, G., وآخرون
منشور في: (2014) -
High-speed, high-optical-efficiency laser scanning using a MEMS-based in-plane vibratory sub-wavelength diffraction grating
بواسطة: Zhou, G., وآخرون
منشور في: (2014) -
Microtribometer based on a rotational grating displacement sensing mechanism
بواسطة: Yu, H., وآخرون
منشور في: (2014) -
Micromachined vibratory diffraction grating scanner for multiwavelength collinear laser scanning
بواسطة: Zhou, G., وآخرون
منشور في: (2014)