Stamps for nanoimprint lithography fabricated by proton beam writing and nickel electroplating

Stamps for nanoimprint lithography fabricated by proton beam writing and nickel electroplating

10.1088/0960-1317/16/10/008

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Ansari, K., Van Kan, J.A., Bettiol, A.A., Watt, F.
مؤلفون آخرون:	PHYSICS
التنسيق:	مقال
منشور في:	2014
الوصول للمادة أونلاين:	http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/98014
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة

Proton beam fabrication of nickel stamps for nanoimprint lithography
بواسطة: Ansari, K., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of high aspect ratio 100 nm metallic stamps for nanoimprint lithography using proton beam writing
بواسطة: Ansari, K., وآخرون
منشور في: (2014)

Polymer microlens replication by Nanoimprint Lithography using proton beam fabricated Ni stamp
بواسطة: Dutta, R.K., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing applications in microfluidics and nanoimprint lithography
بواسطة: KAMBIZ ANSARI MAHABADI
منشور في: (2010)

Nickel and copper electroplating of proton beam micromachined SU-8 resist
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of metallic stamps for injection moulding applications by combining proton beam writing and UV lithography
بواسطة: Malar, P., وآخرون
منشور في: (2014)

Nickel injection mould fabrication via proton beam writing and UV lithography
بواسطة: Nan, L.N., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing and electroplating for the fabrication of high aspect ratio Au microstructures
بواسطة: Yue, W., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of micro-optical components in polymer using proton beam writing
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of optical waveguides using proton beam writing
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam written hydrogen silsesquioxane (HSQ) nanostructures for Nickel electroplating
بواسطة: Gorelick, S., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing
بواسطة: Watt, F., وآخرون
منشور في: (2014)

Improvement in proton beam writing at the nano scale
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Three-dimensional nanolithography using proton beam writing
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing of three-dimensional nanostructures in hydrogen silsesquioxane
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of buried channel waveguides in photosensitive glass using proton beam writing
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of nanofluidic devices utilizing proton beam writing and thermal bonding techniques
بواسطة: Wang, L.P., وآخرون
منشور في: (2014)

FABRICATION OF POLYMER NANOFLUIDIC CHIPS WITH PROTON BEAM WRITING AND NANOIMPRINTING FOR DNA LINEARIZATION
بواسطة: YAN PEIYAN
منشور في: (2020)

Proton beam writing: A progress review
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of enclosed nanochannels in poly(methylmethacrylate) using proton beam writing and thermal bonding
بواسطة: Shao, P.E., وآخرون
منشور في: (2014)

Embedded photonic structures fabricated in photosensitive glass using proton beam writing
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing: A platform technology for nano-integration
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Exposure parameters in proton beam writing for hydrogen silsesquioxane
بواسطة: van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Erbium-doped waveguide amplifiers fabricated using focused proton beam writing
بواسطة: Liu, K., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of PMMA micro- and nanofluidic channels by proton beam writing: Electrokinetic and morphological characterization
بواسطة: Mahabadi, K.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing: A tool for high-aspect ratio mask production
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Hydrogen silsesquioxane a next generation resist for proton beam writing at the 20 nm level
بواسطة: van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing of passive waveguides in PMMA
بواسطة: Sum, T.C., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of nickel molds using proton beam writing for micro/nano fluidic devices
بواسطة: Liu, F., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton Beam Writing of Passive Polymer Optical Waveguides
بواسطة: Sum, T.C., وآخرون
منشور في: (2014)

Reverse nanoimprint lithography for fabrication of nanostructures
بواسطة: Tavakkoli, A.K.G., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of optical microresonators using proton beam writing
بواسطة: Kumar, V.S., وآخرون
منشور في: (2014)

Development of elastomeric lab-on-a-chip devices through Proton Beam Writing (PBW) based fabrication strategies
بواسطة: Wang, L.P., وآخرون
منشور في: (2014)

New resists for proton beam writing
بواسطة: van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing: A platform technology for nanowire production
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Integrating photonic and microfluidic structures on a device fabricated using proton beam writing
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Ionscan: Scanning and control software for proton beam writing
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of free standing resolution standards using proton beam writing
بواسطة: Zhang, F., وآخرون
منشور في: (2014)

Lithography of high spatial density biosensor structures with sub-100 nm spacing by MeV proton beam writing with minimal proximity effect
بواسطة: Whitlow, H.J., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of smooth silicon optical devices using proton beam writing
بواسطة: Teo, E.J., وآخرون
منشور في: (2014)