Study of diffusion barrier properties of ternary alloy (TixAlyNz) in Cu/TixAlyNz/SiO2/Si thin film structure
10.1016/S1369-8001(00)00031-7
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| التنسيق: | مقال |
| منشور في: |
2014
|
| الوصول للمادة أونلاين: | http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/98085 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|