Control of an integrated bake/chill system
Proceedings of the IEEE Conference on Decision and Control
محفوظ في:
المؤلفون الرئيسيون: | Loh, A.P., Huang, A., Tan, W.W., Lim, K.W., Ho, W.K. |
---|---|
مؤلفون آخرون: | ELECTRICAL ENGINEERING |
التنسيق: | Conference or Workshop Item |
منشور في: |
2014
|
الوصول للمادة أونلاين: | http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/72544 |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
المؤسسة: | National University of Singapore |
مواد مشابهة
-
Integrated bake/chill module with in situ temperature measurement for photoresist processing
بواسطة: Tay, A., وآخرون
منشور في: (2014) -
A thermoelectricity-lamp based integrated bake/chill system for photoresist processing
بواسطة: Tay, A., وآخرون
منشور في: (2014) -
Development of an integrated bake/chill system for microlithography
بواسطة: WANG LAN
منشور في: (2010) -
Integrated bake/chill system for across-wafer temperature uniformity control in photoresist processing
بواسطة: Chua, H.T., وآخرون
منشور في: (2014) -
A lamp thermoelectricity based integrated bake/chill system for photoresist processing
بواسطة: Tay, A., وآخرون
منشور في: (2014)