Proton beam fabrication of nickel stamps for nanoimprint lithography

Proton beam fabrication of nickel stamps for nanoimprint lithography

10.1016/j.nimb.2005.01.091

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Ansari, K., Shao, P.G., Van Kan, J.A., Bettiol, A.A., Watt, F.
مؤلفون آخرون:	PHYSICS
التنسيق:	Conference or Workshop Item
منشور في:	2014
الموضوعات:	Electroplating High aspect ratio Nanoimprint lithography Proton beam writing Stamps
الوصول للمادة أونلاين:	http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/98848
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة

Polymer microlens replication by Nanoimprint Lithography using proton beam fabricated Ni stamp
بواسطة: Dutta, R.K., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing applications in microfluidics and nanoimprint lithography
بواسطة: KAMBIZ ANSARI MAHABADI
منشور في: (2010)

High aspect ratio PDMS replication through proton beam fabricated Ni masters
بواسطة: van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of metallic stamps for injection moulding applications by combining proton beam writing and UV lithography
بواسطة: Malar, P., وآخرون
منشور في: (2014)

High precision 3D metallic microstructures produced using proton beam micromachining
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing and electroplating for the fabrication of high aspect ratio Au microstructures
بواسطة: Yue, W., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam written hydrogen silsesquioxane (HSQ) nanostructures for Nickel electroplating
بواسطة: Gorelick, S., وآخرون
منشور في: (2014)

METAL MOLD FABRICATION BY PROTON BEAM WRITING AND ITS APPLICATIONS
بواسطة: WANG YINGHUI
منشور في: (2014)

Ion beam lithography and nanofabrication: A review
بواسطة: Watt, F., وآخرون
منشور في: (2014)

Hydrogen silsesquioxane a next generation resist for proton beam writing at the 20 nm level
بواسطة: van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Micromachining using a focused MeV proton beam for the production of high precision 3D microstructures with vertical sidewalls of high orthogonality
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

FABRICATION OF POLYMER NANOFLUIDIC CHIPS WITH PROTON BEAM WRITING AND NANOIMPRINTING FOR DNA LINEARIZATION
بواسطة: YAN PEIYAN
منشور في: (2020)

Realization and simulation of high-aspect-ratio micro/nanostructures by proton beam writing
بواسطة: Valamontes, E., وآخرون
منشور في: (2014)

Patterning of two-dimensional photonic crystal structures by nanoimprint lithography
بواسطة: Chen, A., وآخرون
منشور في: (2014)

A computational design framework for two-layered elastic stamps in nanoimprint lithography and microcontact printing
بواسطة: Taylor, Hayden, وآخرون
منشور في: (2019)

Nickel injection mould fabrication via proton beam writing and UV lithography
بواسطة: Nan, L.N., وآخرون
منشور في: (2014)

Exposure parameters in proton beam writing for hydrogen silsesquioxane
بواسطة: van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing of long, arbitrary structures for micro/nano photonics and fluidics applications
بواسطة: Udalagama, C., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing: A platform technology for nano-integration
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

A universal scheme for patterning of oxides via thermal nanoimprint lithography
بواسطة: Dinachali, S.S., وآخرون
منشور في: (2014)

New resists for proton beam writing
بواسطة: van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Stamps for nanoimprint lithography fabricated by proton beam writing and nickel electroplating
بواسطة: Ansari, K., وآخرون
منشور في: (2014)

Poly (dimethyl siloxane) micro/nanostructure replication using proton beam written masters
بواسطة: Shao, P.G., وآخرون
منشور في: (2014)

Reverse nanoimprint lithography for fabrication of nanostructures
بواسطة: Tavakkoli, A.K.G., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing: A progress review
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Ionscan: Scanning and control software for proton beam writing
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

NANOFABRICATION USING OPTIMIZED PROTON BEAM WRITING AND MASKED ION LITHOGRAPHY
بواسطة: SARFRAZ QURESHI
منشور في: (2019)

Replication of DNA submicron patterns by combining nanoimprint lithography and contact printing
بواسطة: Wang, Y., وآخرون
منشور في: (2014)

Replication of DNA submicron patterns by combining nanoimprint lithography and contact printing
بواسطة: Wang, Y., وآخرون
منشور في: (2014)

Resist evaluation for Ni mold fabrication and proton beam writing
بواسطة: Wang, Y.H., وآخرون
منشور في: (2014)

Embedded photonic structures fabricated in photosensitive glass using proton beam writing
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Integrating photonic and microfluidic structures on a device fabricated using proton beam writing
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Sub Micron Poly-Dimethyl Siloxane (PDMS) replication using proton beam fabricated nickel moulds
بواسطة: Peige, S., وآخرون
منشور في: (2014)

Enhancement of proton beam writing in PMMA through optimization of the development procedure
بواسطة: Bolhuis, S., وآخرون
منشور في: (2014)

An automatic beam focusing system for MeV protons
بواسطة: Udalagama, C.N.B., وآخرون
منشور في: (2014)

Flexible palladium-based H2 sensor with fast response and low leakage detection by nanoimprint lithography
بواسطة: Lim, S.H., وآخرون
منشور في: (2014)

Rapid prototyping of micro/nano poly (methyl methacrylate) fluidic systems using proton beam writing
بواسطة: Shao, P.G., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of proton beam micromachined scaffolds for cell behaviour studies
بواسطة: ZHANG FANG
منشور في: (2010)

Fabrication of micro-optical components in polymer using proton beam writing
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing for producing holographic images
بواسطة: Ow, Y.S., وآخرون
منشور في: (2014)