Microwave remote plasma enhanced-atomic layer deposition system with multicusp confinement chamber
© 2014 AIP Publishing LLC. A microwave remote Plasma Enhanced-Atomic Layer Deposition system with multicusp confinement chamber is established at the Plasma and Beam Physics research facilities, Chiang Mai, Thailand. The system produces highly-reactive plasma species in order to enhance the depositi...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , |
|---|---|
| التنسيق: | دورية |
| منشور في: |
2018
|
| الوصول للمادة أونلاين: | https://www.scopus.com/inward/record.uri?partnerID=HzOxMe3b&scp=84908431286&origin=inward http://cmuir.cmu.ac.th/jspui/handle/6653943832/44955 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
| المؤسسة: | Chiang Mai University |