Developments of three mems devices : a microgripper, a micromechanism and a microaccelerometer
Micro Electro Mechanical systems (MEMS), the combination of micro sensors, micro actuators, and microstructures, is attracting more and more attention all over the world. MEMS technology promises to develop smart products that are of low cost, small size and high performance.
محفوظ في:
المؤلف الرئيسي: | Su, Cheng. |
---|---|
مؤلفون آخرون: | Du, Hejun |
التنسيق: | Theses and Dissertations |
اللغة: | English |
منشور في: |
2008
|
الموضوعات: | |
الوصول للمادة أونلاين: | http://hdl.handle.net/10356/13398 |
الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
مواد مشابهة
-
RF MEMs devices development for telecommunications
بواسطة: Liu, Ai Qun, وآخرون
منشور في: (2008) -
Development of MEMS devices for vibration and acoustic sensing and actuation applications
بواسطة: Lin, Rongming, وآخرون
منشور في: (2008) -
Novel structures and materials for microelectromechanical system (MEMS) devices
بواسطة: Low, Duong Sin.
منشور في: (2008) -
Design and fabrication of a MEMS based energy scavenging device : suspended in-plane overlap energy converter
بواسطة: Lim, Peter Chin Leng.
منشور في: (2010) -
Experimental study of in-plane poled piezoelectric diaphragm-based MEMS devices
بواسطة: Shen, Zhiyuan.
منشور في: (2013)