Pulsed laser salicidation for fabrication of ultra-thin silicides in sub-quarter micron devices
US6156654
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| التنسيق: | Patent |
| منشور في: |
2012
|
| الوصول للمادة أونلاين: | http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/32584 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|
| المؤسسة: | National University of Singapore |