Work function tunability by incorporating lanthanum and aluminum into refractory metal nitrides and a feasible integration process

Work function tunability by incorporating lanthanum and aluminum into refractory metal nitrides and a feasible integration process

10.1109/ICSICT.2006.306268

محفوظ في:
التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون: Wang, X.P., Li, M.-F., Yu, H.Y., Ren, C., Loh, W.Y., Zhu, C.X., Chin, A., Trigg, A.D., Yeo, Y.-C., Biesemans, S., Lo, G.Q., Kwong, D.L.
مؤلفون آخرون: ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
التنسيق: Conference or Workshop Item
منشور في: 2014
الوصول للمادة أونلاين:http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/84366
الوسوم: إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة: National University of Singapore

مواد مشابهة

مواد مشابهة