Proton beam micromachining: A new tool for precision three-dimensional microstructures

Proton beam micromachining: A new tool for precision three-dimensional microstructures

10.1016/S0924-4247(01)00574-X

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Van Kan, J.A., Bettiol, A.A., Wee, B.S., Sum, T.C., Tang, S.M., Watt, F.
مؤلفون آخرون:	PHYSICS
التنسيق:	مقال
منشور في:	2014
الموضوعات:	High aspect ratio Micromachining Nuclear microscope Plating Proton beam
الوصول للمادة أونلاين:	http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/97635
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
المؤسسة:	National University of Singapore

مواد مشابهة

High precision 3D metallic microstructures produced using proton beam micromachining
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

A LabVIEW™-based scanning and control system for proton beam micromachining
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Micromachining using a focused MeV proton beam for the production of high precision 3D microstructures with vertical sidewalls of high orthogonality
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam micromachined resolution standards for nuclear microprobes
بواسطة: Watt, F., وآخرون
منشور في: (2014)

The use of proton microbeams for the production of microcomponents
بواسطة: Osipowicz, T., وآخرون
منشور في: (2014)

Micromachining using focused high energy ion beams: Deep Ion Beam Lithography
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam micromachining: Electron emission from SU-8 resist during ion beam irradiation
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam micromachining dose normalization for SU-8 using ionoluminescence detection
بواسطة: Udalagama, C.N.B., وآخرون
منشور في: (2014)

High aspect ratio micro/nano machining with proton beam writing on aqueous developable - easily stripped negative chemically-amplified resists
بواسطة: Chatzichristidi, M., وآخرون
منشور في: (2014)

Three-dimensional micromachining of silicon using a nuclear microprobe
بواسطة: Teo, E.J., وآخرون
منشور في: (2014)

Hydrogen silsesquioxane a next generation resist for proton beam writing at the 20 nm level
بواسطة: van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Optimization of particle fluence in micromachining of CR-39
بواسطة: Rajta, I., وآخرون
منشور في: (2014)

Exposure parameters in proton beam writing for hydrogen silsesquioxane
بواسطة: van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing: A platform technology for nano-integration
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam fabrication of nickel stamps for nanoimprint lithography
بواسطة: Ansari, K., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing and electroplating for the fabrication of high aspect ratio Au microstructures
بواسطة: Yue, W., وآخرون
منشور في: (2014)

New resists for proton beam writing
بواسطة: van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing: A progress review
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Ionscan: Scanning and control software for proton beam writing
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of silicon microstructures using a high energy ion beam
بواسطة: Teo, E.J., وآخرون
منشور في: (2014)

High aspect ratio PDMS replication through proton beam fabricated Ni masters
بواسطة: van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

An automatic beam focusing system for MeV protons
بواسطة: Udalagama, C.N.B., وآخرون
منشور في: (2014)

Poly (dimethyl siloxane) micro/nanostructure replication using proton beam written masters
بواسطة: Shao, P.G., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing of passive waveguides in PMMA
بواسطة: Sum, T.C., وآخرون
منشور في: (2014)

Realization and simulation of high-aspect-ratio micro/nanostructures by proton beam writing
بواسطة: Valamontes, E., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of micro-optical components in polymer using proton beam writing
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Measurement of cell motility on proton beam micromachined 3D scaffolds
بواسطة: Zhang, F., وآخرون
منشور في: (2014)

Embedded photonic structures fabricated in photosensitive glass using proton beam writing
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Enhancement of proton beam writing in PMMA through optimization of the development procedure
بواسطة: Bolhuis, S., وآخرون
منشور في: (2014)

Adhesion of proton beam written high aspect ratio hydrogen silsesquioxane (HSQ) nanostructures on different metallic substrates
بواسطة: Gorelick, S., وآخرون
منشور في: (2014)

Integrating photonic and microfluidic structures on a device fabricated using proton beam writing
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of proton beam micromachined scaffolds for cell behaviour studies
بواسطة: ZHANG FANG
منشور في: (2010)

A progress review of proton beam writing applications in microphotonics
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Three-dimensional metamaterials fabricated using Proton Beam Writing
بواسطة: Bettiol, A.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Single-cell electroporation using proton beam fabricated biochips
بواسطة: Homhuan, S., وآخرون
منشور في: (2014)

Fabrication of a free standing resolution standard for focusing MeV ion beams to sub 30 nm dimensions
بواسطة: Van Kan, J.A., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton Beam Writing of Passive Polymer Optical Waveguides
بواسطة: Sum, T.C., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam written hydrogen silsesquioxane (HSQ) nanostructures for Nickel electroplating
بواسطة: Gorelick, S., وآخرون
منشور في: (2014)

Proton beam writing for producing holographic images
بواسطة: Ow, Y.S., وآخرون
منشور في: (2014)

Polymer microlens replication by Nanoimprint Lithography using proton beam fabricated Ni stamp
بواسطة: Dutta, R.K., وآخرون
منشور في: (2014)