A high-density MIM capacitor (13 fF/μm2) using ALD HfO2 dielectrics

A high-density MIM capacitor (13 fF/μm2) using ALD HfO2 dielectrics

10.1109/LED.2002.808159

محفوظ في:

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Yu, X., Zhu, C., Hu, H., Chin, A., Li, M.F., Cho, B.J., Kwong, D.-L., Foo, P.D., Yu, M.B.
مؤلفون آخرون:	ELECTRICAL & COMPUTER ENGINEERING
التنسيق:	مقال
منشور في:	2014
الموضوعات:	Frequency dependency High capacitance density Metal-insulator-metal (MIM) capacitor Thin-film devices Voltage coefficient of capacitance (VCC)
الوصول للمادة أونلاين:	http://scholarbank.nus.edu.sg/handle/10635/81873
الوسوم:	إضافة وسم لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!

مواد مشابهة

PVD HfO2 for high-precision MIM capacitor applications
بواسطة: Kim, S.J., وآخرون
منشور في: (2014)

Lanthanide (Tb)-doped HfO2 for high-density MIM capacitors
بواسطة: Kim, S.J., وآخرون
منشور في: (2014)

Modeling the negative quadratic VCC of SiO2 in MIM capacitor
بواسطة: Phung, T.H., وآخرون
منشور في: (2014)

Performance Improvement of Sm2O3 MIM capacitors by using plasma treatment after dielectric formation
بواسطة: Yang, J.-J., وآخرون
منشور في: (2014)

Very high-density (23 fF/μm2) RF MIM capacitors using high-κ TaTiO as the dielectric
بواسطة: Chiang, K.C., وآخرون
منشور في: (2014)

Effective modulation of quadratic voltage coefficient of capacitance in MIM capacitors using Sm2O3SiO2 dielectric stack
بواسطة: Yang, J.-J., وآخرون
منشور في: (2014)

MIM capacitors using atomic-layer-deposited high-κ (HfO2)1-x(Al2O3)x dielectrics
بواسطة: Hu, H., وآخرون
منشور في: (2014)

High-Performance MIM Capacitor Using ALD High-κ HfO 2-Al2O3 Laminate Dielectrics
بواسطة: Ding, S.-J., وآخرون
منشور في: (2014)

RF, DC, and reliability characteristics of ALD HfO2-Al2O3 laminate MIM capacitors for Si RF IC applications
بواسطة: Ding, S.-J., وآخرون
منشور في: (2014)

A high performance MIM capacitor using HfO 2 dielectrics
بواسطة: Hu, H., وآخرون
منشور في: (2014)

High-k Metal-Insulator-Metal (MIM) capacitors for RF/Mixed-Signal IC applications
بواسطة: KIM SUN JUNG
منشور في: (2010)

Metal-insulator-metal RF bypass capacitor using niobium oxide (Nb2O5) with HfO2/Al2O3 barriers
بواسطة: Kim, S.-J., وآخرون
منشور في: (2014)

Substrate effects on resonant frequency of silicon-based RF on-chip MIM capacitor
بواسطة: Xiong, Y.-Z., وآخرون
منشور في: (2014)

High-performance MIM capacitors using HfLaO-based dielectrics
بواسطة: Zhang, L., وآخرون
منشور في: (2014)

Very high density RF MIM capacitors (17 fF/μm2) using high-κ Al2O3 doped Ta2O5 dielectrics
بواسطة: Yang, M.Y., وآخرون
منشور في: (2014)

Integrated high-κ (κ ∼ 19) MIM capacitor with Cu/ low-κ interconnects for RF application
بواسطة: Yu, M.B., وآخرون
منشور في: (2014)

Physical and electrical characterization of metal-insulator-metal capacitors with Sm2O3 and Sm2 O3/SiO2 laminated dielectrics for analog circuit applications
بواسطة: Chen, J.-D., وآخرون
منشور في: (2014)

High-K dielectric MIM capacitors for Silicon RF and analog applications
بواسطة: HU HANG
منشور في: (2011)

Closed-loop analytic filtering scheme of capacitor voltage ripple in multilevel cascaded H-bridge converters
بواسطة: Rodriguez, Ezequiel Ramos, وآخرون
منشور في: (2020)

Very high density RF MIM capacitor compatible with VLSI
بواسطة: Chiang, K.C., وآخرون
منشور في: (2014)

Transition metal dichalcogenides (MoS2, MoSe2, WS2 and WSe2) exfoliation technique has strong influence upon their capacitance
بواسطة: Ambrosi, Adriano, وآخرون
منشور في: (2017)

High-density MIM capacitors using AlTaOx dielectrics
بواسطة: Yang, M.Y., وآخرون
منشور في: (2014)

A Monolithically Integrated Pressure/Oxygen/Temperature Sensing SoC for Multimodality Intracranial Neuromonitoring
بواسطة: Chan, Wai Pan, وآخرون
منشور في: (2016)

Fabrication and characteristics of high-k MIM capacitors for high precision applications
بواسطة: YANG JIANJUN
منشور في: (2010)

Modeling, fabrication, and characterization of 3-D capacitor embedded in through-silicon via
بواسطة: Lin, Ye, وآخرون
منشور في: (2020)

Evidence and understanding of ALD HfO2-Al2O3 laminate MIM capacitors outperforming sandwich counterparts
بواسطة: Ding, S.-J., وآخرون
منشور في: (2014)

Electrical modeling of multi-walled carbon nanotube (MWCNT)-based capacitors for high-density RF integration
بواسطة: Zhao, W.-S., وآخرون
منشور في: (2014)

High Performance ALD HfO 2-Al 2O 3 Laminate MIM Capacitors for RF and Mixed Signal IC Applications
بواسطة: Hu, H., وآخرون
منشور في: (2014)

MIM capacitors with HfO2 and HfAlOx for Si RF and analog applications
بواسطة: Yu, X., وآخرون
منشور في: (2014)

High-K Dielectrics in Metal Insulator Metal (MIM) Capacitors for RF Applications
بواسطة: PHUNG THANH HOA
منشور في: (2012)

Electrical characterization of a trilayer germanium nanocrystal memory device
بواسطة: Ho, V., وآخرون
منشور في: (2014)

Leakage current conduction mechanism of three-dimensional capacitors embedded in through-silicon vias
بواسطة: Lin, Ye, وآخرون
منشور في: (2020)

HfO2 and Lanthanide-doped HfO2 MIM Capacitors for RF/Mixed IC Applications
بواسطة: Kim, S.J., وآخرون
منشور في: (2014)

Lanthanoid based materials in advanced CMOS technology
بواسطة: CHEN JINGDE
منشور في: (2010)

A comparison study of high-density MIM capacitors with ALD HfO 2-Al 2O 3 laminated, sandwiched and stacked dielectrics
بواسطة: Ding, S.-J., وآخرون
منشور في: (2014)

High capacitance density (> 17 fF/μm2) Nb 2O5-based MIM capacitors for future RF IC applications
بواسطة: Kim, S.-J., وآخرون
منشور في: (2014)

Material and electrical characterization of HfO2 films for MIM capacitors application
بواسطة: Hu, H., وآخرون
منشور في: (2014)

Three-dimensional capacitor embedded in fully Cu-filled through-silicon via and its thermo-mechanical reliability for power delivery applications
بواسطة: Lin, Ye, وآخرون
منشور في: (2020)

Lab-on-chip microfluidic impedance measurement for laminar flow ratio sensing and differential conductivity difference detection
بواسطة: Kong, Tian Fook, وآخرون
منشور في: (2017)

Digital capacitance meter
بواسطة: Chanco, Jorge, وآخرون
منشور في: (1986)