Infrared spectroscopic ellipsometry study of sulfur-doped In0.53Ga0.47As ultra-shallow junctions
Sulfur mono-layer doped In0.53Ga0.47As films were investigated by infrared spectroscopic ellipsometry. The complex dielectric function of doped layers shows free carrier response which can be described by a single Drude oscillator. Electrical resistivities, carrier relaxation times, and active carri...
محفوظ في:
| المؤلفون الرئيسيون: | , , , , , , |
|---|---|
| مؤلفون آخرون: | |
| التنسيق: | مقال |
| اللغة: | English |
| منشور في: |
2014
|
| الموضوعات: | |
| الوصول للمادة أونلاين: | https://hdl.handle.net/10356/79893 http://hdl.handle.net/10220/20134 |
| الوسوم: |
إضافة وسم
لا توجد وسوم, كن أول من يضع وسما على هذه التسجيلة!
|